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Elmitec公司的光电子显微镜(PhotoElectron Emission Microscope PEEM)及低能量电子显微镜(Low Energy Electron Microscope
LEEM)、
拥有最极高的空间分辨率(3nm)和时间分辨率(0.01s),广泛应用于结晶成长过程,相转移,吸着,扩散,化学反应、磁性体研究等诸多科研领域。 |
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LEEM-III系统
- 成像功能:明,暗视野成像,镜面成像,热电子成像,光电子成像
- 空间分辨率:<8nm(保证)、达到4.6nm(16/84% criteria)
- 样品的电子能量:-5 to 500 eV
- 视野: 2 - 80 μm (up to 150 μm in PEEM mode)
- 扩大率: 500 - 20000
- 本底真空度: 2 x 10-10 Torr
- 样品温度:室温~1800K(短时间的2000K可能)
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LEEM-IV系统
- 低价格
- 操作简单
- 完全磁场屏蔽
- LEEM/LEED和PEEM功能自动控制
- 空间分辨率:< 20 nm
- 视野:3-75 μm、(PEEM:3-85 μm)
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LEEM-V系统
- 成像功能:明,暗视野成像,镜面成像,热电子成像,光电子成像
- 空间分辨率:< 8nm(保证)、达到4.9nm(16/84% criteria)
- 样品的电子能量:-5 to 500 eV
- 视野: 1 - 70 μm (up to 100 μm in PEEM mode)
- 扩大率: 570 - 40000
- 本底真空度: < 2 x 10-10 Torr
- 样品温度:室温~1800K(短时间的2000K可能)
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ACLEEM(收差校正LEEM/PEEM)系统
- 理论空间分辨率<3 nm(8倍强度)
- 收差校正和非收差校正的切换简单
- 磁场型LEEM/PEEM扩张可能
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PEEM-III系统
- 成像功能:热电子成像,光电子成像
- 空间分辨率:<15nm(保证)、达到8.2nm(16/84% criteria)
- 视野: 2 - 170 μm
- 本底真空度: < 2 x 10-10 Torr
- 样品温度:室温~1800K(短时间的2000K可能)
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PEEMSPECTOR
- 小型:直径66、长226、接口法兰ICF114
- 操作简单,高性能,低价格
- 空间分辨率< 30nm
- 超高真空对应,可全体烘烤超至150℃
- 整套设备的小型化,使得设备的移动很简单。完全采用静电型透镜。
通过一个透镜的把手,可简单实现5 μm~500 μm范围的视野变换。
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电子能量分析器
- 能量分辨率: < 0.2eV
- 能量范围: >15eV
通过改变光电子能量,可获得全范围的光电子能谱。
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位移台
- ICF203接口法兰
- XY=±5mm、Z=50mm
- 倾角调整(二个方向):±2°
- 电子冲击加热样品架
- W/Re热电偶
- 样品温度:室温~1500C°(瞬间2000C°可)、冷却可能
- 耐电压:30kV
选择项:电机控制XY驱动
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电子自旋枪系统
- GaAs电子枪腔体本底真空: <1x10-10 Torr
- 电子自旋枪源: GaAs(Zn doped)
- 活性化要素: Cs, O2
- 电子能量: 20 kV
- 照射光源: 30 mW Diode Laser,780 nm with circular polarizer and
focusing lenses
- 发射电流: 1 μA
- 偏极角度: 180 deg
- 普通照射源: thermal LaB6
- 标准电流: 1 μA
- 偏极度:27%
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